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產(chǎn)品類別：MOCVD設備尾氣濾芯
產(chǎn)品說明：上海中微設備92-bk-6-k-135過濾器中微具有自主知識產(chǎn)權的MOCVD設備PRISMO A7?可配置多達4個反應腔
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PRODUCT INTRODUCTION
中微具有自主知識產(chǎn)權的MOCVD設備PRISMO A7?可配置多達4個反應腔，可以同時加工136片4英寸晶片或56片6英寸晶片，工藝能力還能延展到生長8英寸外延晶片。每個反應腔都可以獨立控制，這一設計可以實現(xiàn)優(yōu)異的生產(chǎn)靈活性。 配備了 716 毫米托盤的中微 PRISMO A7? MOCVD 設備專為 LED 高產(chǎn)能而設計，每個反應腔的產(chǎn)量是前一代MOCVD 設備 PRISMO D- BLUE? 的 2 倍多，極大地提高了單位產(chǎn)能，能有效降低 LED 外延片的生產(chǎn)成本。
PRODUCT ADVANTAGES
專業(yè)的研發(fā)技術人員
研究產(chǎn)品種類多種多樣
產(chǎn)品可長時間抵抗壓力
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