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K465i，E-300 機(jī)型濾芯

MOCVD設(shè)備可以分為核心的腔體反應(yīng)室、加熱器、冷卻系統(tǒng)、氣體輸運(yùn)系統(tǒng)以

及整體控制系統(tǒng)。本文重點(diǎn)研究了氣體輸運(yùn)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，包括結(jié)構(gòu)組成和部分控制難

點(diǎn)，并對(duì)該系統(tǒng)今后的發(fā)展陳述了自己的觀(guān)點(diǎn)。

 氣體輸運(yùn)系統(tǒng)的作用是把包括載氣和源氣在內(nèi)的所有氣體輸送至腔體參與反應(yīng)，

并把反應(yīng)后的氣體輸送至排氣管路進(jìn)行尾氣處理。氣體輸運(yùn)包括源供給系統(tǒng)，

反應(yīng)室內(nèi)多余的氣體帶入尾氣處理系統(tǒng)。由于腔體內(nèi)管路很復(fù)雜，而且避免MO源的壁面沉積

)對(duì)氣體流經(jīng)的關(guān)鍵管路持續(xù)吹掃?；?考慮，設(shè)備需

要定期進(jìn)行泄漏檢查。