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MOCVD機臺8加8外延設(shè)備濾芯

Veeco K465i外延設(shè)備濾芯

產(chǎn)品說明：

該產(chǎn)品系我司針對Veeco K465i設(shè)備設(shè)計生產(chǎn)的濾芯，安裝于真空泵前，用于濾除混合氣體中的粉塵和顆粒；

2只/組（粗濾、細濾）

組成材料：

1、濾材： 耐高溫玻纖濾料

2、支撐材料：雙面304#不銹鋼金屬網(wǎng)

3、骨架：304#不銹鋼菱形網(wǎng)

4、密封墊圈：硅發(fā)泡橡膠墊片

5、密封膠：硅橡膠

規(guī)格：

1、端蓋：φ360*φ225，304#不銹鋼

2、耐高溫密封墊：φ340*φ265*T5

3、折數(shù)：一級（100μm）:118折, 折高65mm;二級（25μm）:88折，折高65mm

過濾效率：

1、粗濾：100μm=90%

2、細濾：25μm=99.95%

3、透氣量：1000L/Sec/㎡

產(chǎn)品特性：

1、采用兩級過濾工藝，分級過濾雜質(zhì)、有效去除不同大小的顆粒雜質(zhì)。

2、波紋工藝，有效過濾面積增加，容污能力強，使用周期長。

3、濾料采用玻纖濾料，具耐高溫、耐腐蝕，長期使用溫度可達250度以上。

4、專用的高精度過濾材料，空隙均勻，過濾精度高，有效保護設(shè)備。