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上海中微設(shè)備92-bk-6-k-135過(guò)濾器

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上海中微設(shè)備92-bk-6-k-135過(guò)濾器

中微具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的MOCVD設(shè)備PRISMO A7?可配置多達(dá)4個(gè)反應(yīng)腔，可以同時(shí)加工136片4英寸晶片或56片6英寸晶片，工藝能力還能延展到生長(zhǎng)8英寸外延晶片。每個(gè)反應(yīng)腔都可以獨(dú)立控制，這一設(shè)計(jì)可以實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的生產(chǎn)靈活性。配備了 716 毫米托盤(pán)的中微 PRISMO A7? MOCVD 設(shè)備專(zhuān)為 LED 高產(chǎn)能而設(shè)計(jì)，每個(gè)反應(yīng)腔的產(chǎn)量是前一代MOCVD 設(shè)備 PRISMO D- BLUE? 的 2 倍多，極大地提高了單位產(chǎn)能，能有效降低 LED 外延片的生產(chǎn)成本。