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VEECO設備MOCVD機臺8+8高溫濾芯

固安縣凱洛特過濾設備有限公司生產(chǎn)VEECO以及AIXTRON 公司 MOCVD 設備尾氣處理用顆粒過濾器。公司生產(chǎn)嚴格按照 ISO9001 質(zhì)量管理體系，從原材料到成品層層把關，從而提升產(chǎn)品的質(zhì)量。美國進口濾材保證過濾器的使用壽命以及對于后端真空泵及管路的清潔，而且在高溫環(huán)境下可長期使用，不會產(chǎn)生燃燒等意外。 生產(chǎn)供應美國VEECO，德國AIXTRON公司各型號MOCVD設備用過濾器，型號齊全，保證質(zhì)量，可有效保證過濾精度及效率，從而達到保護設備以及環(huán)保的雙重目的 AIXTRON HEPA 濾芯，AIXTRON exhaust 濾芯， AIXTRON particle 濾芯， Thomas Swan 濾芯，供應的 VEECO 公司 MOCVD 設備 K-465 ， K465i ， E-300 機型的濾芯 ， 光電設備濾芯  G5 除塵濾芯  外延設備濾芯  纖維折疊濾芯 。 LED設備用各類過濾器，型號齊全，質(zhì)量保證，可有效保護設備 。 采用304不銹鋼材質(zhì)、進口玻璃纖維，耐高溫性好，抗酸堿。 產(chǎn)品特性： 1 、采用兩級過濾工藝，分級過濾雜質(zhì)、有效去除不同大小的顆粒雜質(zhì)。 2 、波紋工藝，有效過濾面積增加，容污能力強，使用周期長。 3 、濾料采用玻纖濾料，具耐高溫、耐腐蝕，長期使用溫度可達250度以上。 4 、專用的高精度過濾材料，空隙均勻，過濾精度高，有效保護設備。 氣體輸運系統(tǒng)的作用是把包括載氣和源氣在內(nèi)的所有氣體輸送至腔體參與反應， 并把反應后的氣體輸送至排氣管路進行尾氣處理。氣體輸運包括源供給系統(tǒng)， 反應室內(nèi)多余的氣體帶入尾氣處理系統(tǒng)。由于腔體內(nèi)管路很復雜，而且避免MO 源的壁面沉積) 對氣體流經(jīng)的關鍵管路持續(xù)吹掃?；?考慮，設備需 要定期進行泄漏檢查。