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產品類別:MOCVD設備尾氣濾芯
產品說明:MOCVD機臺設備濾芯IMG_20170608_150115凱洛特-供應的 VEECO 公司 MOCVD 設備 K-46
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PRODUCT INTRODUCTION
MOCVD機臺設備濾芯IMG_20170608_150115
凱洛特-供應的 VEECO 公司 MOCVD 設備 K-465 , K465i , E-300 機型的濾芯 , 光電設備濾芯 G5 除塵濾芯 外延設備濾芯 纖維折疊濾芯 。 LED設備用各類過濾器,型號齊全,質量保證,可有效保護設備 。 采用304不銹鋼材質、進口玻璃纖維,耐高溫性好,抗酸堿。 產品優(yōu)勢: 1. 價格優(yōu)勢 2. 高效的過濾雜質能力,過濾精度高,使用壽命長。 3. 產品性能優(yōu)勢經客戶驗證和認可 4. 可根據客戶要求設計,訂做。(調整:尺寸,使用材料,整體構造等)為客戶產品打造 合適的濾芯,確保各種過濾要求,達到 過濾效果。MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition) 是生長高質量半導體薄膜材料的 技術,在LED 、半導體激光器、太陽能電池等多個領域都有應用?,F有MOCVD 設備 的成本非常高,且完全依賴進口,進行MOCVD 設備研究對國內半導體產業(yè)、新能源 領域以及 技術的發(fā)展都很有必要。 MOCVD 設備可以分為核心的腔體反應室、加熱器、冷卻系統(tǒng)、氣體輸運系統(tǒng)以 及整體控制系統(tǒng)。本文重點研究了氣體輸運系統(tǒng)的設計,包括結構組成和部分控制難 點,并對該系統(tǒng)今后的發(fā)展陳述了自己的觀點。 氣體輸運系統(tǒng)的作用是把包括載氣和源氣在內的所有氣體輸送至腔體參與反應, 并把反應后的氣體輸送至排氣管路進行尾氣處理。氣體輸運包括源供給系統(tǒng), 反應室內多余的氣體帶入尾氣處理系統(tǒng)。由于腔體內管路很復雜,而且避免MO 源的壁面沉積) 對氣體流經的關鍵管路持續(xù)吹掃?;?考慮,設備需 要定期進行泄漏檢查。 由于MOCVD 系統(tǒng)中所采用的大多數源均易燃易爆,雨其中的 化物源又有劇毒,因此,必須對反應過后的尾氣進行處理。通常采用的處理方式是將尾氣先通過微粒過濾器去除其中的微粒。

PRODUCT ADVANTAGES
專業(yè)的研發(fā)技術人員
研究產品種類多種多樣
產品可長時間抵抗壓力
擁有完善的售后服務體系
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