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MOCVD機臺設備濾芯IMG_20170608_150115

凱洛特-供應的 VEECO 公司 MOCVD 設備 K-465 ， K465i ， E-300 機型的濾芯 ， 光電設備濾芯  G5 除塵濾芯  外延設備濾芯  纖維折疊濾芯 。 LED設備用各類過濾器，型號齊全，質量保證，可有效保護設備 。 采用304不銹鋼材質、進口玻璃纖維，耐高溫性好，抗酸堿。 產品優(yōu)勢: 1. 價格優(yōu)勢 2. 高效的過濾雜質能力，過濾精度高，使用壽命長。 3. 產品性能優(yōu)勢經客戶驗證和認可 4. 可根據客戶要求設計，訂做。（調整：尺寸，使用材料，整體構造等）為客戶產品打造 合適的濾芯，確保各種過濾要求，達到 過濾效果。MOCVD(Metal Organic Chemical Vapor Deposition) 是生長高質量半導體薄膜材料的 技術，在LED 、半導體激光器、太陽能電池等多個領域都有應用?，F有MOCVD 設備 的成本非常高，且完全依賴進口，進行MOCVD 設備研究對國內半導體產業(yè)、新能源 領域以及 技術的發(fā)展都很有必要。 MOCVD 設備可以分為核心的腔體反應室、加熱器、冷卻系統(tǒng)、氣體輸運系統(tǒng)以 及整體控制系統(tǒng)。本文重點研究了氣體輸運系統(tǒng)的設計，包括結構組成和部分控制難 點，并對該系統(tǒng)今后的發(fā)展陳述了自己的觀點。 氣體輸運系統(tǒng)的作用是把包括載氣和源氣在內的所有氣體輸送至腔體參與反應， 并把反應后的氣體輸送至排氣管路進行尾氣處理。氣體輸運包括源供給系統(tǒng)， 反應室內多余的氣體帶入尾氣處理系統(tǒng)。由于腔體內管路很復雜，而且避免MO 源的壁面沉積) 對氣體流經的關鍵管路持續(xù)吹掃?；?考慮，設備需 要定期進行泄漏檢查。 由于MOCVD 系統(tǒng)中所采用的大多數源均易燃易爆，雨其中的 化物源又有劇毒，因此，必須對反應過后的尾氣進行處理。通常采用的處理方式是將尾氣先通過微粒過濾器去除其中的微粒。